氟化液冷水机是以电子氟化液（全氟流体 / 氢氟醚）作为循环传热介质的密闭式冷热循环温控设备，介质绝缘、不可燃、化学惰性强，不会导电短路，适配真空腔体、带电器件直接换热，替代水、乙二醇、导热油，广泛用于半导体、算力液冷、功率器件、军工电子测试。
一、主要应用场景和对应工艺
应用领域 | 工艺环节 | 工艺说明 |
半导体制造 | 干法刻蚀（Etch） | 刻蚀上下电极、腔体夹套控温，真空环境，不能有水汽污染晶圆，防止电极打火 |
PECVD/CVD 沉积 | 腔体热沉板控温，低温沉积工艺，介质不能析出离子污染腔室 | |
离子注入 | 靶台、束流组件冷却，带电高压部件，严禁导电冷却液 | |
EUV 光刻 | 光刻镜头、工件台高精度恒温，温度波动要求小 | |
晶圆测试 / 探针台 | 芯片高低温可靠性测试，芯片直接接触换热，绝缘防短路 | |
半导体封装 | 老化测试、功率器件热循环测试、气密性检漏循环 | |
AI 算力 / 数据中心 | 单相浸没液冷 | 服务器 / GPU 浸没槽外部循环换热，冷水机给氟化液槽控温，高功率密度机柜散热 |
冷板式氟化液冷却 | 间接液冷，氟化液在板内循环，规避漏水短路风险 | |
新能源电力 | 功率半导体 IGBT/SiC 测试 | 功率模块老化、功率循环测试，高压带电部件冷却 |
储能 BMS、车载电控冷却试验台 | 模拟整车高低温环境，绝缘介质，避免漏液造成高压短路 | |
光伏逆变器、SVG 功率单元可靠性测试 | 高低温循环老化 | |
军gong和 航空电子 | 雷达相控阵 T/R 组件冷却 | 机载、雷达组件高低温环境模拟，真空、高可靠绝缘要求 |
航空电子器件环境试验箱 | 冷热冲击、高低温循环槽热源控温 | |
科研 和精密化工 | 真空腔体冷热循环 | 高真空环境，水介质会挥发污染真空，氟化液饱和蒸气压低适配真空 |
特种材料高低温反应 | 对水汽、杂质敏感，不允许介质组分析出污染物料 |
江苏康士捷工业控温设备 产品规格汇总
一、全系列温度机型覆盖
高温型：5℃～35℃
中温型：-5℃～-40℃
低温型：-40℃～-80℃
极低温型：-150℃～-80℃
冷热两用型：-150℃～+300℃
二、设备定制及功能配置
制冷量规格齐全，可适配不同工况负荷
可选特殊机型：防爆型、防腐型、撬装式、变频型
支持非标定制，按需适配现场安装及工艺要求
控温精度可选：温度稳定精度 ±0.1℃等
江苏康士捷机械设备有限公司
联系方式
手机 / 微信（销售）：18936116792
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