半导体低温冷水机组应用场景 工艺 温度
应用场景 | 具体工艺 | 温度区间 | 选型说明 |
真空薄膜工艺 | PVD、CVD、ALD 腔体冷阱，捕集前驱体、水汽、反应副产物 | -60℃ ~-100℃ | 复叠式低温冷水机组，半导体冷阱专用 chiller |
晶圆级测试 | 低温探针台、CP 晶圆电测、芯片低温可靠性筛选 | -40℃ ~-85℃ | 高精度复叠 chiller，低振动，控温 ±0.1℃ |
功率器件测试 | IGBT、MOSFET、第三代半导体碳化硅氮化镓低温性能测试 | -40℃ ~-80℃ | 复叠低温冷水机组 |
电子特气工艺 | 特种气体液化、低温精馏、硅烷、硼烷、氨气冷凝捕集 | -70℃ ~-120℃ | 三级复叠冷水机组 |
刻蚀设备配套 | 干法刻蚀腔体、等离子刻蚀低温冷却 | -20℃ ~-60℃ | 高精度密闭循环冷水机 |
半导体研发实验室 | MEMS、半导体材料低温物性实验，替代液氮冷源 | -60℃ ~-110℃ | 复叠式低温冷水机组 |
封装测试 | 芯片老化、低温失效分析、器件冷热冲击配套冷源 | -30℃ ~-70℃ | 多通道半导体 chiller |
江苏康士捷工业控温设备 产品规格汇总
一、全系列温度机型覆盖
高温型：5℃～35℃
中温型：-5℃～-40℃
低温型：-40℃～-80℃
极低温型：-150℃～-80℃
冷热两用型：-150℃～+300℃
二、设备定制及功能配置
制冷量规格齐全，可适配不同工况负荷
可选特殊机型：防爆型、防腐型、撬装式、变频型
支持非标定制，按需适配现场安装及工艺要求
控温精度可选：温度稳定精度 ±0.1℃等
江苏康士捷机械设备有限公司
联系方式
手机 / 微信（销售）：18936116792
官网：www.ksjwk.cn
地址：江苏省苏州昆山市
半导体低温冷水机组江苏康士捷机械设备有限公司多案例供参考。
