半导体-90℃～-110℃复叠式冷水机组

-90℃~-110℃属于半导体极低温深冷区间，单级压缩无法实现，采用两级 / 三级复叠制冷循环，两套独立冷媒回路通过冷凝蒸发器换热接力制冷，替代部分液氮冷源，主要服务半导体高真空工艺冷阱、特种芯片可靠性测试，不用于常规刻蚀、光刻恒温散热。

  

 半导体核心应用场景与工艺作用

应用点位	工作温度	工艺作用
高真空腔体冷阱（水汽捕集泵）	-90~-110℃	冷凝水汽、硅氧烷、有机物、泵油返流；快速提升本底真空度；保护分子泵、干泵，减少真空泵维护频次，替代液氮冷阱，降低产线运行成本。
PVD / 电子束蒸发冷阱	-95~-110℃	抑制蒸发源挥发物反向污染晶圆，降低腔体残余杂质，提升薄膜纯度，减少腔室清洗周期。
特种芯片低温可靠性测试	-90~-110℃	模拟深空、极寒工况，功率器件、MEMS 芯片低温电性能、失效分析；闭环液体循环，温度均匀优于液氮浸泡。
半导体材料深冷处理	-90~-100℃	碳化硅、氮化镓衬底深冷应力释放，降低材料内部残余应力。

说明：干法刻蚀、CVD、光刻常规工艺一般使用-40℃以上机型，-90~-110℃复叠机组几乎全部用于真空冷阱与**低温可靠性测试。

江苏康士捷工业控温设备 产品规格汇总

一、全系列温度机型覆盖

高温型：5℃～35℃

中温型：-5℃～-40℃

低温型：-40℃～-80℃

极低温型：-150℃～-80℃

冷热两用型：-150℃～+300℃

二、设备定制及功能配置

制冷量规格齐全，可适配不同工况负荷

可选特殊机型：防爆型、防腐型、撬装式、变频型

支持非标定制，按需适配现场安装及工艺要求

控温精度可选：温度稳定精度 ±0.1℃等

 

江苏康士捷机械设备有限公司

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