真空薄膜工艺｜-60℃～-100℃复叠低温冷水机组

适配磁控溅射、电子束蒸发、光学真空镀膜、PVD 薄膜沉积，用于真空冷阱水汽捕集、基片台低温控温、腔体深冷冷却，替代液氮冷源，实现产线连续化生产。

工艺工况说明

真空薄膜工艺中，-60℃~-100℃复叠机组主要两大用途：

真空冷阱冷却：冷凝捕获腔体内水汽、油蒸汽、有机挥发物，快速拉高真空度，降低分子泵负荷，减少薄膜针孔、雾斑、杂质缺陷。

基片 / 基板低温控温：基材在低温环境完成薄膜沉积，控制膜层应力，提升薄膜致密性、附着力，适配光学膜、功能涂层、半导体薄膜制备。

常规单级冷水机**仅-40℃，无法覆盖-60~-100℃区间，必须采用双级/多级复叠制冷循环实现稳定深冷输出。

江苏康士捷工业控温设备 产品规格汇总

一、全系列温度机型覆盖

高温型：5℃～35℃

中温型：-5℃～-40℃

低温型：-40℃～-80℃

极低温型：-150℃～-80℃

冷热两用型：-150℃～+300℃

二、设备定制及功能配置

制冷量规格齐全，可适配不同工况负荷

可选特殊机型：防爆型、防腐型、撬装式、变频型

支持非标定制，按需适配现场安装及工艺要求

控温精度可选：温度稳定精度 ±0.1℃等

 

江苏康士捷机械设备有限公司

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